富创得300mm LoadPort 适用于晶圆自动化传输的设备接口，能够高效、洁净地实现FOUP盒与设备之间的自动化晶圆传输，适用于各类半导体设备EFEM、Sorter、清洗设备、检测设备等

300mm LoadPort 内关键结构与设计均为富创得自主专利，设计与生产均在富创得自有生产基地内进行。软硬件垂直整合，保证设备的标准性与一致性

符合 SEMI 相关标准，运用 RS-232 HEX 通信协议与对接设备通讯，也可拓展多种通讯与对接方

有 / 无、叠片、斜片检测。可选的 E84 通讯协议、氮气置换等功能，满足各种现场需求

富创得 Wafer OCS 能够适应多种尺寸的晶圆盒，支持开放式和半开放式设计，同时配备防护罩以降低颗粒污染风险，确保晶圆在传输过程中的洁净度和稳定性，广泛适用于半导体设备EFEM、Sorter等

可选配多种客制化配件，灵活应对不同工况需求 

专为 Wafer Open Cassette 设计

可原配原厂 Mapping 系统，可进行叠片、斜片等检测，杜绝晶圆传输中的撞片问题

可配置读取二维码功能

重复定位精度≤±0.1mm，旋转角度≤±0.1° 

调整时间＜ 6 s

最大初始偏移量±7mm

完全由富创得自主开发的Fortrend Lamina 软件系列

Lamina Sorter 能满足晶圆在Load Port之间的相互传递,并在内部微环境下实现晶圆扫描、对位、排序、分批、合批以及读取晶圆刻号的功能。满足与AGV或OHT的对接,具备E84的功能

Lamina EFEM 作为前端模块,能够匹配满足客户上下料的功能要求,接受主机或host指令实现wafer在cassette与主机之间传送