200MM RETICLE SMIF (3-LINK)-FORTREND

产品特性

· 集成RSP 200 SMIF开盖器与掩模版搬运机器人——最小的自动化占地面积

· 支持SEMI E100 RSP-200标准

· 开盖器与机器人臂满足环境要求

· 掩模版旋转范围：0至360°；掩模版翻转范围：0至300°

产品特性

· 提供多种掩模版搬运臂和夹爪设计，以满足灵活的OEM掩模版操作需求（包括翻转、旋转、长距离伸展、OCR/BCR等）

· 支持串行和并行I/O通信协议

· 轮式交钥匙系统，便于运输至服务区域

· 可选的1D、2D（SEMI T11）和EUV（SEMI T16）条码读取器

· 可选的OCR读取

产品规格

SMIF Pod Size	200 mm (SEMI E100)
Height	1812-1847mm
Width	381mm
Depth	562mm
Reticle Rotation	0 to 360°
Reticle Tilt	0 to 300°
SMIF Arm Payload	3.2 kg
Pod Interface	SEMI E19.3
Power	110V@3A/ 240V@1.4A, 60/50 Hz
Weight	93Kg (pod not included)
Load Height	925 mm ± 25 mm
Mounting Repeatability	±0.5 mm
Cycle Time	50 to 65 秒
Control	Front Panel, Pendant, Host
Communication	EIA-RS232C, SECS I/II Parallel I/O, SEMI E23-96, IEEE-TT
Lot ID Reader Options	RFID
Cleanliness	ISO Class 1