200MM FOR ASM A400 SMIF-FORTREND

产品特性

· PLUS 500F 设计用于将 200 mm晶圆盒从 SMIF 腔体装载到多层晶圆盒平台或高层晶圆盒平台。将200mm晶圆cassette取出后，cassette旋转180°。PLUS 500F是ASM批准的用于A400 Classic和A400 DUO系统的SMIF POD装载机。

· 教导器

· 可选通用地板安装

· 可选RFID读取方式

· 可选IR-LINK读取方式

· 用于 ASM A400 Classic 和 DUO 系统

· ASM 指定的 SMIF 供应商

· 可直接替换现有 A400 SMIF

· 可直接安装到现有的 ASM SMIF 支架上

产品特性

· 占地面积小，节省宝贵的FAB占用空间

· ISO 2级或更高洁净度，采用主动自洁净空气流设计

· 将cassette置于密封的迷你环境中

· 现场可编程应用软件

· POD在位传感器

· Wafer突出传感器

· Wafer mapping功能

· SEMI E19.4,S2和S8标准和CE认证

产品规格

POD/Wafer 尺寸	200 mm
外观尺寸	710mm 宽 x 660mm 深 x 1770mm 高
机械臂有效载荷	8 KG
整机重量	185 KG(依配置决定)
额定电压	AC 220V
额定功率	2200W
主体材质	铝合金、不锈钢(SUS 304)
噪声	< 75 dBA
通讯	EIA-RS232C,SECS I/II Parallel I/O,SEMI E23-96, IEEE-TTL
通讯协议	ASCII、TCP/P、ASCII、TCP/P
选配选项	ID 读写装置选配RFID 模块或IR Link
洁净度	ISO Class 2
晶圆盒界面	SEMIE19.4
吞吐量	70秒装载和90秒卸载
工作温度	0 ~ 40ºC
工作湿度	5% ~ 90%