· 整机生产自主化，核心零部件专利自有
· 符合SEMI相关标准与通用规格的软硬件设计
· 多样化的功能配置选项，适用多种工况
| 机身尺寸 | H 1424 mm * W 796 mm * L 732mm | |
| 整机质量 | 100 kg ± 1 kg （依配置不同而变化） | |
| 额定电压 | DC 24 V | |
| 额定电流 | 8 A | |
| 额定功率 | 192W | |
| 通讯方式 | 串口通讯RS-232C,并行通讯I/O | |
| 通讯协议 | HEX、ASCII | |
| 载体尺寸 | 符合SEMI标准的Panel FOUP | |
| 负载高度 | 913 mm ± 10 mm | |
| 厂务需求 | 正压 | 0.5 ~ 0.6 MPa ( Ø 6 air tube ) |
| 负压 | < - 80 kPa ( Ø 6 air tube ) | |
| 选配组件 | 自动物料搬运系统通讯接口（E84） | |
| 机械/电子式(默认标配电子式) | ||
| 线缆(PIO线、485调试线、RS232调试线) | ||
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