200MM SMIF (ROTATE)-FORTREND

Plus 500R-X

· 该设备用于300mm晶圆的传输，通过直臂运动方式将POD盒水平或垂直装载到工具台上，并可将cassette旋转359°，且可用于非SMIF环境中将晶圆盒装载到工艺设备中；

· 60秒或更短时间装载-卸载周期，极大程度提高运行效率；

· 具备晶圆Mapping、晶圆突出检测、POD就位检测等功能；

· 内置迷你环境、清洁气流系统、防尘罩等，保持1级（CLASS 1）洁净度；

· 占地面积仅略大于SMIF传输舱，节省宝贵的FAB占地空间，同时更易于OTH和AGV系统的集成；

· 用于无法处理 E84 连接的 OEM 工具的可选 SEMI E84 通信卡。

Plus 500R-X

· 拥有45年半导体行业经验及验证，多项专利技术授权和EMI E19.4, S2, S8, CE, UKCA 认证；

· 具备诸多安全保障功能，包括传送盒在位传感器、晶圆突出传感器、晶圆盒过载传感器，以及用于精确运动控制的恒转矩直流步进电机（带编码器反馈）；

· 快拆式闩锁的菱形销接口板以及独立式落地安装架，可在15分钟或更短时间内与几乎所有工艺设备重新连接，减少了停机时间并简化了预防性维护；

· 提供安装服务、现场培训、全球范围内的支持，以及多种经济实惠的长期维护合同供客户选择。

产品规格

型号	PLUS 500R-L	PLUS 500R-R	PLUS 500R-L with E84	PLUS 500R-R with E84
I/O面板	左	右	左	右
E84 通信板	无	无	有	有
尺寸	34.8厘米（宽）x 49.8厘米（深）x 184厘米（高，不含轮子）
轮子高度	6至15.3厘米（根据工具需求）
循环时间（装载）	<60 秒(装载后POD保持打开状态)
循环时间（卸载）	<60 秒(装载后POD保持打开状态)
机械臂规格	390mm		Z 轴行程	135mm
功率	100 to 240 VAC @ 50/60 Hz		重量	93 Kg (不包含 SMIF pod)
开机重置时间	<20秒		SMIF机械臂有效载荷	3.2 Kg
机械臂伸展轴精度	±0.1 mm		机械臂升降轴精度	±0.1 mm
机械抓手轴精度	±0.5 mm		倾斜轴精度	±0.15 degree
控制选项	手动（前面板）；远程（通过OEM工具或CIM）；手持控制器
通信接口	RS232 (Serial) – Fortrend HEX or ASCII or SECS Parallel I/O
Lot ID Reader Options	IR (Smart) Tag – 8200 or 8400 series RFID Read/write Module – Fortrend or Hermos or Other RFID Intellion Lot Track system