· 可与光罩设备搭配使用（MASK EFEM）或独立分拣使用（MASK sorter）
· 可实现全自动化载具更换，各种运输盒(Hoya、ShinEtsu、Nikon、Canno等)之间和RSP光照盒（RSP150/RSP200/RSP EUV）之间转换
· 可客制化机械手搭配光罩片末端执行器,满足各种复杂的应用场景，包括reticle、mask、pellicle
· 可配置人工目检装置，风刀模组等，实现光罩片目检功能和表面颗粒吹扫功能
· 可配备温控模组对腔体内部实现恒温调节
· 可配备裸片存储模块，实现reticle store and auto transfer
| 材料 | 掩模，光罩，EUV |
| 载体 | RSP150，RSP200，双 EUVPod，各种运输盒 |
| 读取 ID 位置 | 光罩和薄膜 |
| 洁净度等级 | 优于 ISO Class1 |
| 第三方颗粒物检测 |
测量颗粒>1um(PDS) |
|
可选配强光目检工作站 |
0°到 360°翻转和目视检查 |
| N2 或 XCDA 吹扫枪 | |
| 掩模 1D 和 2D 条形码阅读器 | |
| 薄膜 ID 读取器和测量相机 | |
| 掩模倒角识别 | |
| 掩模厚度测量 | 重复精度<0.2um(与测量模块集成) |
声明：本网站所展示产品外观、参数、性能描述、对比数据等均来自大族富创得内部实验室自有产品的检测和实验，仅供参考，以实物及实际参数为准，不做为法律依据。
021-34786180
sales@fortrend.com
上海市闵行区万芳路555号1号楼102、202室
.jpg)
二工位产品中心白底图1420x750.jpg)
.jpg)
2.jpg)
