Q：SMIF设备需要哪些维护?

SMIF系统需要定期对密封件、传感器和机械接口进行检查和维护；如果配备了自清洁气流系统，也应定期进行检查，以保持ISO1级洁净度标准。

Q：富创得生产的SMIF适配哪些尺寸的晶圆和哪些类型的晶圆盒？

富创得SMIF支持标准的200mmSEMI E100 Reticle SMIF Pod(RSP)和EUV Pod；可根据具体晶圆厂需求提供定制化选项，以满足不同晶圆尺寸兼容性要求。

Q：富创得生产的SMIF是否兼容OHT?

富创得生产的SMIF产品是完全适配OHT的，目前已有上千台安装案例。