300MM WAFER LOADPORT-FORTREND

产品介绍

· 富创得300mm LoadPort 适用于晶圆自动化传输的设备接口，能够高效、洁净地实现FOUP盒与设备之间的自动化晶圆传输，适用于各类半导体设备EFEM、Sorter、清洗设备、检测设备等。

产品特性

· 300mm LoadPort内关键结构与设计均为富创得自主专利，设计与生产均在富创得自有生产基地内进行。软硬件垂直整合，保证设备的标准性与一致性

· 符合SEMI相关标准，运用RS-232 HEX通信协议与对接设备通讯，也可拓展多种通讯与对接方式

· 原厂自带的Wafer Mapping，利用自研的先进控制算法，可以实现晶圆有/无、叠片、斜片检测。可选的E84通讯协议、氮气置换等功能，满足各种现场需求

产品规格


Equipment specification	Equipment Size	H 1349 mm * W 472 mm * L 586mm
	Equipment weight	66 kg ± 0.5 kg（It varies depending on the configuration)
	Rated voltage	DC 24 V
	Rated current	6 A
	Rated power	144W
	Communication mode	Serial RS-232C, parallel I/0
	Communication protocol	HEX、ASCII
Work specification	Carrier size	SEMI compliant 300 mm/200 mm(optional) FOUP
	Load height	900 mm ± 10 mm
	Action cycle time	FOUP open	11 sec（ with mapping ）
		FOUP close	8 sec（ without mapping ）
	Factory needs	CDA	0.5 ~ 0.6 MPa ( Ø 6 air tube )
		VAC	< - 80 kPa ( Ø 6 air tube )
		N2 (optional)	0.1 ~ 0.2 MPa ( Ø 8 air tube )
Optional component	N2 Purge Function
	AMHS Communication Por（t E84）
	200mm cassette adaptor
	Mechanical/electronic-Info Pad（acquiesce）