200MM EUV DUAL PLM-FORTREND

PLM EUV Dual

· 信息垫传感器用于检测舱体类型——RSP 200或EUV舱

· 通信：串行或并行，可选SECS

· 符合SEMI E19.4、E84、E100、E117、E152、S2和S8标准，并通过CE认证

· 与OHT（天车运输系统）兼容

· 可选配RFID读写器

· 可选配净化功能

· 解锁/锁定标准200毫米SEMI E100光罩SMIF舱（RSP）

PLM EUV Dual

· ISO 1级洁净度，配备主动自清洁气流设计

· 自动解锁和锁定SMIF外舱门

· 同时抬起内外舱门

· 在解锁和锁定外舱门时，根据SEMI E152标准，对外舱门施加80牛顿的力

· 所有电气系统配备现场可编程应用软件

· 四个可编程互锁信号

· 内舱存在传感器

· 内舱对齐传感器

产品规格

Size	150mm W x 150mm D x 6.35mm H
Dimension	363W x 420D x 700H mm
Elevator Stroke	240 mm
Load Capacity	5.4kg
Pod Types	SEMI E152 RSP or E100 RSP
Pod Interface	SEMI E19.4
Power requirement	100V/240VAC @ 1Amp 50/60Hz Or 24 VDC (Option)
Weight	24kg without Pod
Open Pod	< 5 seconds
Close Pod	< 5 seconds
MCBF	50,000 cycles
MTTR	< 1 hour
Pod PIP sensor	1 set
Communication	Parallel/ Serial,EIA-RS232C(SECS I/II)