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富创得 Wafer OCS 能够适应多种尺寸的晶圆盒，支持开放式和半开放式设计，同时配备防护罩以降低颗粒污染风险，确保晶圆在传输过程中的洁净度和稳定性，广泛适用于半导体设备EFEM、Sorter等。
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·可选配多种客制化配件，灵活应对不同工况需求
·专为Wafer Open Cassette设计
·可原配原厂Mapping系统，可进行叠片、斜片等检测，杜绝晶圆传输中的撞片问题
| 机身尺寸 | H 425 mm * W 365 mm * L 772mm（依配置不同而变化） | |
| 整机质量 | 35~100 kg ± 0.5 kg （依配置不同而变化） | |
| 额定电压 | DC 24 V | |
| 额定电流 | 6 A | |
| 额定功率 | 144W | |
| 通讯方式 | RS-232 | |
| 通讯协议 | HEX、ASCII | |
| 载体尺寸 | 符合SEMI标准的Open Cassette | |
| 选配组件 | RFID | |
| Mapping（左右扫、前后扫） | ||
| 外罩（金属外罩、塑料外罩） | ||
| Port支架 | ||
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