· EEF采用闭环控制的夹爪方式
· 搬运重量：手臂第三关节处基准3Kg以下
· 可搭配不同类型的Fork，满足多种工况的MASK片传输
· 晶圆固定方式： 夹持型 /托举型
· 可根据设备布局采用上固定方式/下固定方式
| 搬运物 | Mask片/方形玻璃片 | |||
| 可动范围(旋转中心至第三关节中心处) | 手臂 | Theta 旋转 | 升降 | |
|
376mm |
340° |
240/300/400/500 | ||
| 搬送速度(平均速度) | 600mm/s |
235°/S |
250mm/s |
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| 手臂类型 | 双臂 | |||
| 搬运高度 | 520--820mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度,依配置而定） | |||
| 重复精度 | 士0.1mm以内 | |||
| 通讯协议 | HEX/ASCII | |||
| 通讯方式 | EtherNet/RS232 | |||
| 洁净度 | 最高 ISO Class1 | |||
| 厂务 | 电源:220V,10A,真空:-70~-90Kpa,正压:0.1~0.5Mp | |||
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