PLM 200W-FORTREND

产品介绍

· Fortrend PLM-200W是一款简单、可靠的POD开启器，设计用于通过提升POD盖来打开200毫米SMIF POD。晶圆保持在一个密封的微环境中，可以被工艺工具的机器人访问。主动气流保持密封微环境的洁净度优于ISO一级洁净标准。PLM设计便于快速安装和拆卸，能够轻松与大多数半导体工具接口。集成的晶圆突出传感器和工具联锁信号的设置进一步防止POD盖在晶圆突出时关闭。主动POD存在传感器和POD底座/盖子粘滞检测算法能够检测SMIF POD的存在和故障吊舱，防止错误的POD操作，确保工具的最佳性能。

产品特性

· 一级洁净度与主动自清洁气流设计

· 符合SEMI标准

· 所有电气系统配备现场可编程应用软件

· 可选SEMI E63螺栓-M接口安装

· 突出传感器在操作过程中保护掩模版/晶圆

· 支持OHT/AGV（自动导引车）

· 四个可编程联锁信号

· 晶圆/掩模版突出传感器

· 200毫米晶圆和掩模版 SMIF POD 易于安装到所有现有工具

产品规格

Pod/晶圆尺寸	200mm
尺寸	710mm 宽 x 660mm 深 x 1770mm 高
机械臂有效载荷	8KG
整机质量	185KG(依配置决定)
额定电压	AC 220V
额定功率	2200W
主体材质	铝合金、不锈钢(SUS 304)
噪声	< 75 分贝