晶圆自动存储系统 STOCKER

产品介绍

· 富创得Stocker自动化存储系统，主要用于半导体晶圆厂的物料存储和传输。它通过多层存储设计，实现晶圆料盒的高效存取，支持多种规格的载具（如FOUP、RSP、Cassette等）。Stocker配备自动化操作功能，能够减少人工干预，提高生产效率和产品质量。同时，它还具备环境控制能力，确保晶圆在存储和传输过程中的洁净度。此外，Stocker与OHT等自动化设备兼容，可实现晶圆在不同工艺之间的高效流转，优化生产空间，助力半导体制造的智能化升级。

产品特性

· 模块化设计,组装调适更快,并可根据需求客制化制作,满足各种工况需求

· 提供对接接口，可对接Fab厂内已有OHT和AGV,补充已有AMHS体系

· 可与富创得一同推出的载具搬运/便携货架式AGV联动,快速吞吐多个晶圆盒,效率更高。

产品规格

设备尺寸	长 5800 * 宽 1600 * 高 4620 mm（依配置决定）
适用载具类型	SMIF 吊舱、光罩盒、FOUP/FOSB
装载端口	2 个（可选 P-rack 接口）
载具负载高度	900 ± 10 mm
通讯协议	HSMS 或 SECS I / SECS II
额定电压	单相 DC 220V 50 Hz
洁净度	Class 100（可选 FFU）
防震等级	0.3G（M-S>7.0）
存储容量	146+6 载具（依配置决定）
运载臂最大负载	20 千克
单件搬运时间	< 6 秒
运载臂最大移动速度	2 米/秒（非线性运动）
运载臂最大旋转速度	90°/秒
运载臂重复定位精度	± 0.2 毫米
平均故障修复时间	< 4 小时
平均故障间隔时间	2000 小时
平均保养间隔时间	6 个月
正常工作时间	≥ 98%

声明：本网站所展示产品外观、参数、性能描述、对比数据等均来自大族富创得内部实验室自有产品的检测和实验，仅供参考，以实物及实际参数为准，不做为法律依据。

产品中心

标准机械界面 SMIF 晶圆/光罩分选设备 SORTER 设备前端自动化模块 EFEM 装载系统 LOADPORT/PLM/POM/OCS 传输机械手 ROBOT 晶圆真空传输系统 VTM 全自动化存储系统 AMHS 晶圆寻边器 ALIGNER

行业应用

半导体

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