150MM RETICLE SMIF-FORTREND

产品特性

· 集成RSP 150 SMIF开盖器与掩模版搬运机器人——最小的自动化占地面积

· 支持SEMI E111 RSP-150开盖器和机器人臂，满足环境要求

· 旋转掩模版0至360°；翻转掩模版0至300°。

产品特性

· 多种掩模版搬运臂和夹爪设计，以满足灵活的OEM掩模版操作需求（包括翻转、旋转、长距离伸展、OCR/BCR等）

· 支持串行和并行I/O通信协议

· 轮式交钥匙系统（便于运输至服务区域）

· 可选的1D、2D（SEMI T11）和EUV（SEMI T16）条码读取器

· 可选的OCR读取器

· 可选的RFID读取器

产品规格

SMIF Pod 尺寸	150 mm (SEMI E111)
高度	1812-1847mm
宽度	381mm
深度	562mm
光罩旋转	0 to 360°
光罩倾斜	0 to 300°
SMIF 机械臂负载	3.2 kg
Pod 接口	SEMI E19.3
电源	110V@3A/ 240V@1.4A, 60/50 Hz
重量	93Kg (不包括Pod)
负载高度	925 mm ± 25 mm
安装重复性	±0.5 mm
循环时间	50 to 65 秒
控制	Front Panel, Pendant, Host
通信	EIA-RS232C, SECS I/II Parallel I/O, SEMI E23-96, IEEE-TT
Lot ID reader Options	RFID
Cleanliness	ISO Class 1