| Pod/晶圆尺寸 | 150/200毫米（SMIF标准） | |
| 尺寸 | 491mm W x 468mm D x 815mm H | |
| 重量 | 40千克（取决于配置） | |
| 额定电压 |
直流24V |
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| 额定功率 | 120W | |
| 主要材料 | 铝合金，不锈钢（SUS 304） | |
| 噪音水平 | < 60 分贝 | |
| 通信 |
Serial EIA-RS232C ，Parallel l/O |
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| 通信协议 |
串行通信，可选SECS I/II |
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| 洁净度 | Class 1@0.lμm（洁净度等级） | |
| 选项 | ID读写设备配备有RFID模块或红外链接（Irlink） | |
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