200MM RETICLE SMIF-FORTREND

产品特性

· 集成RSP 200 SMIF开盖器与掩模版搬运机器人——最小的自动化占地面积

· 支持SEMI E100 RSP-200

· 开盖器与机器人臂满足环境要求

· 掩模版旋转范围0至360°；掩模版翻转范围0至300°

· 提供多种掩模版搬运臂和夹爪设计，以满足灵活的OEM掩模版操作需求（包括翻转、旋转、长距离伸展、OCR/BCR等）

产品特性

· 支持串行和并行I/O通信协议

· 轮式交钥匙系统，便于运输至服务区域

· 可选的1D、2D（SEMI T11）和EUV（SEMI T16）条码读取器

· 可选的OCR读取

· 可选的RFID读取器

产品规格

SMIF Pod 尺寸	200 mm (SEMI E100)
高度	1812-1847mm
宽度	381mm
深度	562mm
掩模版旋转	0 to 360°
掩模版倾斜	0 to 300°
SMIF机械臂负载	3.2 kg
Pod 接口	SEMI E19.3
功率	110V@3A/ 240V@1.4A, 60/50 Hz
重量	93Kg (不包含 pod )
负载高度	925 mm ± 25 mm
安装重复性	±0.5 mm
循环时间	50 to 65 Seconds
控制	Front Panel, Pendant, Host
通信	EIA-RS232C, SECS I/II Parallel I/O, SEMI E23-96, IEEE-TT
批次ID读取器选项	RFID
清洁度	ISO Class 1