200MM RETICLE PLM-FORTREND

PLM 200Rx

· 与OHT（天车运输系统）兼容

· 光罩存在传感器（适用于E100 SMIF舱）

· 内舱存在传感器（适用于E152 EUV SMIF舱）

· 胶膜存在及方向传感器（适用于E100 SMIF舱）

· 符合SEMI E19.4、E100、E152、E117、S2和S8标准，并通过CE认证

· 可直接安装到工艺工具中，或安装到手动装卸端口适配器上，将开放式站点转换为SMIF兼容站点

· 可选配RFID读写器

PLM 200Rx

· 占地面积小，节省宝贵的FAB车间空间

· ISO 1级洁净度，配备主动自清洁气流设计

· 可打开标准E100 RSP和EUV E152外舱门

· 提起舱壳，使光罩留在密封的微环境中

· 在打开和关闭E152舱门时施加80牛顿的力

· 信息垫传感器用于检测舱体类型

· 所有电气系统配备现场可编程应用软件

产品规格

Size	150mm W x 150mm D x 6.35mm H
Dimension	467W x 460D x 770H mm
Elevator Stroke	210 mm
Load Capacity	5.4kg
Pod Types	SEMI E100 Single RSP, SEMI E152 EUV SMIF Pod
Pod Interface	SEMI E19.4
Power requirement	100V/240VAC @ 1Amp, 50/60Hz, or 24 VDC (Option)
Weight	23kg without Pod
Open Pod	< 12 seconds
Close Pod	< 10 seconds
MCBF	50,000 cycles
MTTR	< 1 hour
Communication	Parallel/Serial, EIA-RS232C (SECS I/II)