四边形真空传输腔体 VTM-FORTREND

产品介绍

· 半导体真空传输系统（VTM）在高真空环境下实现晶圆的自动化、高精度传输，减少污染，提高生产效率和产品良率；

· 富创得真空传输系统设备适配半导体前道工艺多数制程，所有量产设备均符合SEMI标准,适配各种晶圆/掩膜等半导体/泛半导体物料工艺设备的工况需求；

· 可提供标准方案供制程设备进行对接,也可根据客户要求进行设备的客制化,软硬件均有成熟方案可供选择，满足不同的制程设备与实际工况的需求；

· 真空传输系统核心组件均由富创得自主设计研发,并在自有生产基地组装生产,实现更好的交期与性能。

产品特性

· 150mm,200mm晶圆(含TAIKO、Frame晶圆)、掩膜、泛半导体物料(光伏硅板等)

· PVD、CVD、ALD等半导体前道/泛半导体工艺设备

· 高洁净度传输，晶圆传输洁净度Class1

· 高效率,高稳定性传输,传输效率>200 pcs/h; Up time:>98%;

· 支持国产化替代,客户化定制