150mm POM-FORTREND

产品介绍

· POM 是台式独立 200 毫米 SMIF POD开启器。打开 SMIF POD，允许手动装载或卸载cassette；

· 如果 OEM 工具无法通过 SMIF 装载端口实现自动化，则非常适合与 SMIF 工厂内需要通过手动操作装载晶圆盒的工具配合使用；

· 操作员将 SMIF POD 放在装载端口上。按下运行按钮后，POD盖将解锁，吊舱盖将被掀起，以便取出 cassette。

产品特性

· 支持符合SEMI E19.4标准的200毫米晶圆和掩模版SMIF POD

· 所有电气系统均配备现场可编程应用软件

· POD 夹具防止外壳被移除，以保证载体物流的完整性

· 晶圆突出传感器在 POD 关闭操作期间保护掩模版/晶圆

· 安装和操作简便

· 可选的SMIF吊舱ID读取器 - 提供RFID、红外（智能）标签

· Class 1洁净度

· 可选的晶圆Mapping器

· 可选的SECS通信板，可连接到工厂的MES系统

产品规格

SMIF POD	SEMI E19.4
重量	23 Kg
装载能力	12 Kg
尺寸	370mmWx467mmDx700mm H
平均无故障时间	50,000次循环
平均修复时间	少于1小时
功率	HEX、ASCII
通讯	100-240伏交流电，最大1安培，50/60赫兹串行通信，可选SECS I/I
SMIF POD ID	RFID
选项	IR(Smart Tag)-8200 or 8400 series Hermos RFID