· 采用双Arm构造，实现wafer的高速传输
· 搬运重量：手臂第三关节处基准3Kg以下
· 可搭配不同类型的Fork，满足多种工作的wafer传输
· 晶圆固定方式：真空吸型/夹持型/夹持托举型/接触式伯努利型/非接触式伯努利型
· 根据设备布局可选上固定方式或下固定方式
| 搬运物 | 515mm*510mm玻璃基板 | |||
| 可动范围(旋转中心至第三关节中心处) | 手臂 | Theta 旋转 | 升降 | |
|
376/500/760mm |
340° |
Z300/ZD500/ZD700 | ||
| 搬送速度(平均速度) | 550mm/s |
200°/S |
300mm/s |
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| 手臂类型 | 双臂 | |||
| 搬运高度 | 890mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度,依配置而定） | |||
| 重复精度 | 士0.2mm以内 | |||
| 通讯协议 | HEX/ASCII | |||
| 通讯方式 | EtherNet/RS232 | |||
| 洁净度 | 最高 ISO Class1 | |||
| 厂务 | 电源:220V,10A,真空:-70~-90Kpa,正压:0.1~0.5Mp | |||
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