· 光罩片自动化传输/分拣系统 可与光罩设备搭配使用（MASK EFEM）或独立分拣使用（MASK sorter） 可实现全自动化载具更换，各种运输盒(Hoya、ShinEtsu、Nikon、Canno等)之间和RSP光照盒（RSP150/RSP200/RSP EUV）之间转换 可客制化机械手搭配光罩片末端 执行器,满足各种复杂的应用场景，包括reticle、mask、pellicle。
· 光罩片自动化传输/分拣系统
· 可与光罩设备搭配使用（MASK EFEM）或独立分拣使用（MASK sorter）
· 可实现全自动化载具更换，各种运输盒(Hoya、ShinEtsu、Nikon、Canno等)之间和RSP光照盒（RSP150/RSP200/RSP EUV）之间转换
· 可客制化机械手搭配光罩片末端执行器,满足各种复杂的应用场景，包括reticle、mask、pellicle
· 拥有45年半导体行业经验及验证，符合半导体工厂标准传输协议SECS/GEM；
· 整机模块化设计，安装、维护更便捷、快速；
· 设备具有诸多安全保障和防误触设计，确保设备运行正常；
· 提供安装服务、现场培训、全球范围内的支持，以及多种经济实惠的长期维护合同供客户选择。
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