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· 富创得 Frame LoadPort 适用于晶圆自动化传输的设备接口，能够高效、洁净地实现FOUP盒与设备之间的自动化晶圆传输，适用于各类半导体设备EFEM、Sorter等，可适配中勤、硕顶等 Frame FOUP。
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· Frame LoadPort内关键结构与设计均为富创得自主专利，设计与生产均在富创得自有生产基地内进行。软硬件垂直整合，保证设备的标准性与一致性
· 符合SEMI相关标准，运用RS-232 HEX通信协议与对接设备通讯，也可拓展多种通讯与对接方式
· 原厂自带的 Wafer Mapping,利用自研的先进控制算法,可以实现晶圆有/无、叠片、斜片检测。可选的 E84 通讯协议，可应用于AMHS/AGV 自动化传输需求
| 机身尺寸 | H 1349 mm * W 485 mm * L 594mm | |
| 整机质量 | 70 kg ± 0.5 kg （依配置不同而变化） | |
| 额定电压 | DC 24 V | |
| 额定电流 | 6 A | |
| 额定功率 | 144W | |
| 通讯方式 | 串口通讯RS-232C,并行通讯I/O | |
| 通讯协议 | HEX、ASCII | |
| 载体尺寸 | 符合SEMI标准的300 mm / 200 mm (选配） FOUP | |
| 负载高度 | 900 mm ± 10 mm | |
| 动作循环时间 | FOUP 开启 | 11 sec（ with mapping ） |
| FOUP 关闭 | 8 sec（ without mapping ） | |
| 厂务需求 | 正压 | 0.5 ~ 0.6 MPa ( Ø 6 air tube ) |
| 负压 | < - 80 kPa ( Ø 6 air tube ) | |
| 选配组件 | 自动物料搬运系统通讯接口（E84） | |
| 机械/电子式 Info Pad(默认标配电子式) | ||
| 线缆(PIO线、485调试线、RS232调试线) | ||
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