150MM FOR CANON EUV SMIF-FORTREND

产品特性

· 该设备用于150mm晶圆的传输，超矮型机身,适用于70cm高的cassette平台，机械手臂通过直臂运动方式，并可用于非SMIF环境中将晶圆盒装载到工艺设备中；

· 80秒或更短时间装载-卸载周期，极大程度提高运行效率；

· 具备晶圆Mapping、晶圆突出检测、POD就位检测等功能；

· 内置迷你环境、清洁气流系统、防尘罩等，保持1级（CLASS 1）洁净度；

· 占地面积仅略大于SMIF传输舱，节省宝贵的FAB占地空间，同时更易于OTH和AGV系统的集成；

· 用于无法处理 E84 连接的 OEM 工具的可选 SEMI E84 通信卡；

品质保障

· 拥有45年半导体行业经验及验证，多项专利技术授权和EMI E19.4, S2, S8, CE, UKCA 认证；

· 具备诸多安全保障功能，包括传送盒在位传感器、晶圆突出传感器、晶圆盒过载传感器，以及用于精确运动控制的恒转矩直流步进电机（带编码器反馈）；

· 快拆式闩锁的菱形销接口板以及独立式落地安装架，可在15分钟或更短时间内与几乎所有工艺设备重新连接，减少了停机时间并简化了预防性维护；

· 提供安装服务、现场培训、全球范围内的支持，以及多种经济实惠的长期维护合同供客户选择。

产品规格

型号	PLUS 150UL-L	PLUS 150UR-R	PLUS 150UL-L-OHT	PLUS 150UR-OHT
I/O 面板	左	右	左	右
E84 通讯板	无	无	有	YES
尺寸	59.2cm(W)x42cm(D)x121cm(H)
脚轮高度	6cm~15.3 cm可调节
周期时间(负载)	<80 秒(S型无倾斜，装载后POD保持打开状态)
周期时间（卸载	<80 秒(S型无倾斜，装载后POD保持打开状态)
手臂伸长量	390mm	Z轴行程	40mm
电源	100 to 240 VAC @ 50/60 Hz	重量	93 Kg (不包含 SMIF POD）
开机复位时间	<20 Secs	SMIF 机械臂有效载荷	3.2 Kg
臂伸展轴精度	±0.1 mm	机械臂升降轴精度	±0.1 mm
夹爪精度	±0.5 mm	倾斜轴精度	±0.15 degree
控制方式	手动 (前面板); 远程 (从 OEM 工具或者 CIM); 教导器
通讯界面	RS232 (Serial) – Fortrend HEX or ASCII or SECS Parallel I/O
ID读取选项	IR (Smart) Tag – 8200 or 8400 series RFID Read/write Module – Fortrend or Hermos or Other RFID Intellion Lot Track system