150MM RETICLE PLM -FORTREND

RETICLE PLM

· 占地面积小，节省宝贵的FAB车间空间

· 达到ISO 1级洁净度，配备主动自清洁气流设计

· 支持150毫米的单片和多片SMIF舱

· 提起舱壳，使光罩留在密封的微环境中

· 所有电气系统配备现场可编程应用软件

· 四个可编程互锁信号

RETICLE PLM

· 舱体存在传感器

· 掩模映射传感器

· 突出传感器

· 与OHT（天车运输系统）兼容

· 符合SEMI E19.3、E111、E112、E117、S2和S8标准，并通过CE认证

· 可直接安装到工艺工具中，或安装到手动装卸端口适配器上，将开放式站点转换为SMIF兼容站点

· 可选配集成的RFID读写器

产品规格

Size	150mm W x 150mm D x 6.35mm H
Dimension	467W x 460D x 770H mm
Elevator Stroke	210 mm
Load Capacity	5.4kg
Pod Types	SEMI E100 Single RSP SEMI E152 EUV SMIF Pod
Pod Interface	SEMI E19.4
Power requirement	100V/240VAC @ 1Amp 50/60Hz Or 24 VDC (Option)
Weight	23kg without Pod
Open Pod	< 12 seconds
Close Pod	< 10 seconds
MCBF	50,000 cycles
MTTR	< 1 hour
Communication	Parallel/ Serial,EIA-RS232C(SECS I/II)