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产品中心 传输机械手 ROBOT WAFER ROBOT
产品特性

· ROBOT DODY/ARM轴采用伺服闭环控制方式

· ROBOT FLIP EEF轴采用步进闭环控制方式

· 可以在选配中选择拟似水平多关节动作对应平行配置的设备布局

· 可搬运重量：手臂第三关节中心处3Kg以下

· 采用双臂结构，可缩短晶圆交换时间

· 可搭配不同类型的FORK，满足多样的使用工况

· 可根据设备布局采用底部固定或顶部法兰固定

· 晶圆固定方式：真空吸附式、接触式伯努利型

· RS232/EtherNet,直接与上位机连接与通讯

选型规则
产品规格
搬运物 3寸/4寸/6寸/12寸晶圆
可动范围(旋转中心至第三关节中心处) 手臂 Theta 旋转 升降

300/400/500m

340°

240/300/400/500
搬送速度(平均速度) 2000mm/s

340°/S

500mm/s

手臂类型 双臂
搬运高度 700--1020mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复精度 士0.1mm以内
通讯协议 HEX/ASCII
通讯方式 EtherNet/RS232
洁净度 最高 ISO Class1
厂务 电源:220V,10A,真空:-70~-90Kpa,正压:0.1~0.5Mp

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