晶圆盒（POD）
晶片盒是一种密封容器，用于在储存和运输过程中储存晶片。它可以容纳25块200/300mm的晶圆。它将晶片与周围环境隔开，以确保密封的清洁环境，并减少晶片在传输过程中的振动。

SMIF I/O（输入和输出）
通过自动机械装置，晶片载体（盒）由SMIF机械臂（SMIF I-arm）从晶片盒（POD）中取出，并放置在工艺设备的接口上进行处理。然后，取出盒并将其放回晶片盒（POD）中。整个过程不受外部环境的影响，更可靠，容错率更高。

迷你环境
迷你环境包含高度集成的组件，如工艺设备、晶圆盒（POD）、晶圆载体（盒）、机械臂、升降模块和各种传感器。它通过特定的SMIF系统执行复杂的机械程序，如装载、转移和输送。它通过适当的接口与SMIF系统集成，形成一个独立的工作单元。它防止了设备本身材料中溢出的轻微有机挥发性物质、运动过程中污染物的产生以及设备的密封性能等可能造成的污染。