设备前端模块（EFEM）是半导体制造中的关键组件。它通过受控的微环境确保清洁度要求，实现晶圆的自动装载和卸载。它连接了前端和后端物流，促进了物料转移、设备控制和流程协调。

（图片：Fortrend EFEM生产车间）
 

与传统半导体制造设备相比，EFEM解决方案具有几个优势：
 

1.提高生产效率
EFEM解决方案通过自动控制和监控实现了快速晶圆传输和精确定位，从而提高了生产效率。它减少了与手动操作相关的时间和错误，提高了制造过程的一致性和稳定性。

2.提高制造质量
EFEM解决方案通过精确的控制和监测，最大限度地减少了传输过程中的晶圆损坏和污染，从而提高了制造质量。

3.降低制造成本
EFEM解决方案通过自动化控制和监控减少了工时和成本，降低了制造过程中对人力资源的需求。它提高了设备利用率和效率，同时降低了维护成本和能耗。

4.支持智能工厂
EFEM解决方案的自动化控制和监控能力为智能工厂奠定了基础。它能够与其他设备和系统进行数据交换和通信，促进信息共享和协同操作，从而提高工厂的整体效率和竞争力。

EFEM主要由三个关键部件组成：装载口、晶圆运输机器人和晶圆对准器，包括：

（图片：韩的Fortrend三核心组分合集）
 

装货港：用于晶圆的自动装卸，确保加工过程中的精确定位和稳定转移。

晶圆运输机器人：负责设备内晶圆的快速准确转移，最大限度地减少人工干预和操作时间。

晶圆对准器：用于晶圆对准和定位，确保加工过程中晶圆的精确定位，提高制造精度。
 

Fortrend已经实现了三个核心组件的自主研发。该设备及其核心部件均在韩的Fortrend生产基地制造，大大降低了运营成本和交付周期，实现了本地化制造。

Fortrend EFEM：

（图片：韩的Fortrend EFEM在半导体工艺场景中的应用）
 

凭借在半导体领域45年的行业经验和专业知识，韩的Fortrend EFEM设备已广泛应用于半导体制造的各个工艺步骤。

（图片：从左到右，AOI检测EFEM、湿台EFEM、晶圆EFEM、PECVD EFEM）
 

它具有高效率、稳定性和可靠性，以及出色的可扩展性、灵活性和定制能力。它可以与各种类型的多工艺设备接口，并可根据工艺要求进行定制。具有多种拾取和放置方法和装载口配置，以及多种定制选项，可满足各种工作条件的需求。未来，韩的Fortrend EFEM将继续优化和改进，共同推进半导体制造技术。